发明名称 METHOD FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100227489(B1) 申请公布日期 1999.11.01
申请号 KR19960007045 申请日期 1996.03.15
申请人 YAMAHA CORPORATION 发明人 KURIHARA, SHUNSUKE
分类号 C23C14/04;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/683;H01L23/544;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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