发明名称 METHOD OF FORMING VIA HOLE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100227643(B1) 申请公布日期 1999.11.01
申请号 KR19960074946 申请日期 1996.12.28
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 PAIK, HYUN-CHUL;LEE, CHUNG-SUK
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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