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发明名称 CLAMP TOOL FOR BONDING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100228443(B1) 申请公布日期 1999.11.01
申请号 KR19960056991 申请日期 1996.11.25
申请人 KABUSHIKI KAISHA SHINKAWA 发明人 SATO, KOJI;IDAE, JOONICHI;SONODA, YOOKITAKA
分类号 H01L21/60;H01L21/603;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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