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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE, RINSE LIQUID, AND LIQUID FOR CLEANING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11297656(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980102554 申请日期 1998.04.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SUGANO ITARU
分类号 H01L21/306;H01L21/304;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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