| 发明名称 |
ETCHING DEPTH MEASURING METHOD AND DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11297781(A) |
申请公布日期 |
1999.10.29 |
| 申请号 |
JP19980102837 |
申请日期 |
1998.04.14 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
TSUMURA AKIRA;SATO MASAHARU;YAMADA WATARU |
| 分类号 |
G01B11/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/306 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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