| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11297777(A) |
申请公布日期 |
1999.10.29 |
| 申请号 |
JP19980094242 |
申请日期 |
1998.04.07 |
| 申请人 |
MIYAGI OKI DENKI KK;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KONISHI MAMORU |
| 分类号 |
G01B15/00;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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