发明名称 MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11297678(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980120150 申请日期 1998.04.14
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 MUTO YOSHIO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址