发明名称 SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH11297598(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980099608 申请日期 1998.04.10
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 OGASAWARA MITSUO;TANIGUCHI TAKESHI;SUZUKI SATOSHI
分类号 H01L21/306;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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