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发明名称 DIFFUSION BARRIER LAYER AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH11297699(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980102265 申请日期 1998.04.14
申请人 SONY CORP 发明人 TAGUCHI MITSURU
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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