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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11297816(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980098000 申请日期 1998.04.09
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TAKIZAWA JUN
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/76;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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