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发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH11297610(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980111357 申请日期 1998.04.08
申请人 NIKON CORP 发明人 KOJIMA SHINICHI
分类号 G21K5/04;G03F7/20;H01J37/153;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
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