发明名称 BONDING TOOL AND BONDING METHOD FOR SEMICONDUCTOR CHIP USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH11297764(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980121816 申请日期 1998.04.14
申请人 RICOH CO LTD 发明人 OKURA HIDEAKI;KOMATSU KOZO;SAKATSU TSUTOMU;TEZUKA SHINJI;IWABUCHI TOSHIAKI;KUWAZAKI SATOSHI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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