发明名称 OPTICAL AXIS ADJUSTING DEVICE FOR LASER EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11295819(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980096417 申请日期 1998.04.08
申请人 ASAHI OPTICAL CO LTD 发明人 SHIMIZU SHUICHI
分类号 G03F7/20;G03B27/32;(IPC1-7):G03B27/32 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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