| 发明名称 |
ULTRAVIOLET RAY IRRADIATOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11295500(A) |
申请公布日期 |
1999.10.29 |
| 申请号 |
JP19980112897 |
申请日期 |
1998.04.09 |
| 申请人 |
USHIO INC |
发明人 |
HISHINUMA NOBUYOSHI;SUGAWARA HIROSHI;TAKEMOTO FUMITOSHI;TOKAI HIROAKI;MURASE ATSUSHI |
| 分类号 |
G21K5/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):G21K5/00;H01L21/306 |
主分类号 |
G21K5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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