发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11297971(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980104844 申请日期 1998.04.15
申请人 TOSHIBA MICROELECTRONICS CORP;TOSHIBA CORP 发明人 SAKAI IZUMI;KURASHIMA NORIHIDE
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118;(IPC1-7):H01L27/118 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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