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发明名称 MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11297688(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980098003 申请日期 1998.04.09
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MISAWA KOTARO
分类号 H01L21/316;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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