发明名称 MANUFACTURE OF LAMINATED SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH01232750(A) 申请公布日期 1989.09.18
申请号 JP19880057361 申请日期 1988.03.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ARIMOTO YOSHIHIRO
分类号 H01L21/31;H01L21/02;H01L27/12 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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