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发明名称 Vorrichtung zum reaktiven Aufstäuben von elektrisch isolierendem Werkstoff
摘要
申请公布号 DE4042287(C2) 申请公布日期 1999.10.28
申请号 DE19904042287 申请日期 1990.12.31
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG 发明人 SZCZYRBOWSKI, JOACHIM;ROEGELS, STEPHAN
分类号 H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
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