发明名称 SUBSTRATE HEATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11297705(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980094365 申请日期 1998.04.07
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 AKAO NORINOBU;MURAMATSU FUMIO;SUZUKI KAZUNORI
分类号 C23C16/46;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
主权项
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