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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH11297675(A)
申请公布日期
1999.10.29
申请号
JP19980106429
申请日期
1998.04.16
申请人
SONY CORP
发明人
SHIROSAKI TOMOHIDE
分类号
H01L21/302;H01L21/203;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
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