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发明名称 FORMATION OF WIRING
摘要
申请公布号 JPH0276219(A) 申请公布日期 1990.03.15
申请号 JP19880229617 申请日期 1988.09.12
申请人 SONY CORP 发明人 SUMI HIROBUMI;NISHIYAMA KAZUO
分类号 H01L21/3213;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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