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发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterspeicheranordnung mit erhöhter Speicherzellenkapazität
摘要
申请公布号 DE69131638(D1) 申请公布日期 1999.10.28
申请号 DE1991631638 申请日期 1991.07.08
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI 发明人 EMA, TAIJI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824;H01L21/033;G03F1/14;G03F7/20 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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