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发明名称 Local particle cleaning
摘要
申请公布号 IL127720(D0) 申请公布日期 1999.10.28
申请号 IL19980127720 申请日期 1998.12.24
申请人 ORAMIR SEMICONDUCTOR EQUIPMENT LTD. 发明人
分类号 C23F4/00;B08B7/00;B23K26/03;B23K26/08;B23K26/14;G03F1/00;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/68;(IPC1-7):H01L 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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