发明名称 |
Halfgeleiderinrichting gebruikmakend van een polymeerbevattend fotomasker, en wijze voor de bereiding ervan. |
摘要 |
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申请公布号 |
NL1010935(C2) |
申请公布日期 |
1999.10.28 |
申请号 |
NL19981010935 |
申请日期 |
1998.12.31 |
申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
MIN HO JUNG;JAE CHANG JUNG;CHEOL KYU BOK;KI HO BAIK |
分类号 |
C07C67/347;C07C69/753;C08F4/04;C08F22/06;C08F32/00;C08F222/06;C08F232/08;G03F7/004;G03F7/027;(IPC1-7):C07C69/753;C07C51/353;C07C61/29;G03F7/039 |
主分类号 |
C07C67/347 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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