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经营范围
发明名称
ASHING PROCESS
摘要
申请公布号
JPH02151029(A)
申请公布日期
1990.06.11
申请号
JP19880304098
申请日期
1988.12.02
申请人
HITACHI LTD
发明人
INADA AKIISA;FUJITO TOSHIAKI;YAMAGUCHI SUMIO
分类号
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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