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发明名称 Washing method and device using gas-liquid mixture nozzle
摘要
申请公布号 EP0747139(B1) 申请公布日期 1999.10.27
申请号 EP19960108967 申请日期 1996.06.04
申请人 TOYO UCHINAMI TECHNO CLEAN CO., LTD. 发明人 UCHINAMI, TOSHIRO;NISHIKAWA, TADAO
分类号 B05B7/04;B08B3/02;(IPC1-7):B08B3/02 主分类号 B05B7/04
代理机构 代理人
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