发明名称 N-vinyllactam derivatives and photoresist polymers thereof
摘要
申请公布号 GB2305175(B) 申请公布日期 1999.10.27
申请号 GB19960019234 申请日期 1996.09.13
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES, CO., LTD;* KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 JIN BAEK * KIM;MIN HO * JUNG;KYEONG HO * CHANG
分类号 G03F7/039;C07D205/08;C07D207/26;C07D207/273;C07D207/277;C07D211/74;C07D223/10;C07D405/12;C07F7/10;C07F9/553;C08F26/00;C08F26/06;C08F26/10;G03F7/004;G03F7/038;(IPC1-7):C07D207/277;C07D211/76 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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