| 发明名称 |
Epitaxial growth method of III-nitride semiconductors |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9920048(D0) |
申请公布日期 |
1999.10.27 |
| 申请号 |
GB19990020048 |
申请日期 |
1999.08.24 |
| 申请人 |
ARIMA OPTOELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C16/34;C23C16/56;C30B23/02;C30B25/02;C30B25/18;H01L21/20;H01L33/00 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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