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发明名称 Reticle for an object measurement system
摘要
申请公布号 GB2336729(A) 申请公布日期 1999.10.27
申请号 GB19980008719 申请日期 1998.04.25
申请人 * INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 SYDNEY GEORGE * CHAPMAN;ANDREW GORDON NEIL * WALTER
分类号 G01B3/00;G01B11/02;H03M1/24;(IPC1-7):H03M1/22 主分类号 G01B3/00
代理机构 代理人
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