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发明名称 CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH11293941(A) 申请公布日期 1999.10.26
申请号 JP19980094522 申请日期 1998.04.07
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUSAKU;OSAWA NORIYOSHI;MIZUNO TOMOO
分类号 E04H5/02;B65G1/00;F24F7/06;(IPC1-7):E04H5/02 主分类号 E04H5/02
代理机构 代理人
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