MATERIALIEN UND VERFAHREN ZUM AETZEN VON WOLFRAMPOLYZIDEN UNTER ZUHILFENAHME DER SILIZIDE ALS MASKE.,申请号AT19880302403T-传众专利搜索

发明名称	MATERIALIEN UND VERFAHREN ZUM AETZEN VON WOLFRAMPOLYZIDEN UNTER ZUHILFENAHME DER SILIZIDE ALS MASKE.
摘要
申请公布号	AT64797(T)	申请公布日期	1991.07.15
申请号	AT19880302403T	申请日期	1988.03.18
申请人	APPLIED MATERIALS, INC.	发明人	STONE, CLARK S.
分类号	H01L21/306;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31	主分类号	H01L21/306
代理机构		代理人
主权项
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