| 发明名称 |
FRACTURING METHOD AND DEVICE OF SILICON BLOCK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11290712(A) |
申请公布日期 |
1999.10.26 |
| 申请号 |
JP19980096252 |
申请日期 |
1998.04.08 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
BABA HIROYUKI;ABE MASAMICHI;HANAZAWA KAZUHIRO;NAKAMURA NAOMICHI;YUSHIMO KENKICHI;KATO YOSHIHIDE |
| 分类号 |
B02C19/18;H01L31/04;(IPC1-7):B02C19/18 |
主分类号 |
B02C19/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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