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发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11293457(A)
申请公布日期
1999.10.26
申请号
JP19980094278
申请日期
1998.04.07
申请人
MURATA MFG CO LTD
发明人
FUNATO KEN;HAYASHI SHIGEO
分类号
C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
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