发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11293457(A) 申请公布日期 1999.10.26
申请号 JP19980094278 申请日期 1998.04.07
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 FUNATO KEN;HAYASHI SHIGEO
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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