发明名称 PRODUCTION OF SILICON SINGLE CRYSTAL, SEED CRYSTAL AND SEED CRYSTAL HOLDING TOOL
摘要
申请公布号 JPH11292689(A) 申请公布日期 1999.10.26
申请号 JP19980122859 申请日期 1998.04.15
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD 发明人 KIMURA MASAKI
分类号 C30B15/32;C30B15/36;C30B29/06;(IPC1-7):C30B15/36 主分类号 C30B15/32
代理机构 代理人
主权项
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