CLEANING TANK,申请号JP19980099003-传众专利搜索

发明名称	CLEANING TANK
摘要
申请公布号	JPH11290801(A)	申请公布日期	1999.10.26
申请号	JP19980099003	申请日期	1998.04.10
申请人	KAIJO CORP	发明人	ASAKA ATSUYASU
分类号	B08B3/10;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/10	主分类号	B08B3/10
代理机构		代理人
主权项
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