| 发明名称 |
SURFACE TREATING DEVICE AND SURFACE TREATING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11293469(A) |
申请公布日期 |
1999.10.26 |
| 申请号 |
JP19980101424 |
申请日期 |
1998.04.13 |
| 申请人 |
KOMATSU LTD |
发明人 |
SAKURAGI SHUNICHI;MIZUKAMI HIROYUKI;KOUSHIRI MASAYUKI |
| 分类号 |
C23C16/50;G11B5/84;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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