| 发明名称 |
METAL MASK CLEANING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11290805(A) |
申请公布日期 |
1999.10.26 |
| 申请号 |
JP19980143580 |
申请日期 |
1998.04.15 |
| 申请人 |
TIETECH CO LTD |
发明人 |
FURUUMI HIDEO;NOMURA TOSHIAKI |
| 分类号 |
B08B3/12;B01D29/11;B01D29/13;B08B3/14;(IPC1-7):B08B3/14 |
主分类号 |
B08B3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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