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发明名称 COATER
摘要
申请公布号 JPH11290752(A) 申请公布日期 1999.10.26
申请号 JP19980093166 申请日期 1998.04.06
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 OKUNO EIJI;OZAKI KAZUTO
分类号 G02F1/13;B05C11/02;H01L21/027;H01L21/31;(IPC1-7):B05C11/02 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
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