| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM EINSEITIGEN BEARBEITEN SCHEIBENFÖRMIGER GEGENSTÄNDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT405655(B) |
申请公布日期 |
1999.10.25 |
| 申请号 |
AT19970000527 |
申请日期 |
1997.03.26 |
| 申请人 |
SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG AG |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/687;(IPC1-7):C23F1/08;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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