| 摘要 |
작업편의 표면을 작업편의 형태에 제한 됨이 없이 작업편 면을 가공할수 있으며 또한 고정도로 작업편의 폴리싱 상태를 측정할수 있는 가공편 면 가공장치이다. 작업편 면 가공장치는 모터(17 내지 19)에의해 동일 방향으로 회전시키는 실질상의 대칭 점에 배치되는 3개의 정반(1-1 내지 1-3)과, 상기 정반(1-1 내지 1-3)에 대해 대향 방향으로 회전되며 웨이퍼(W)를 지지하는 캐리어 헤드(2)와, 웨이퍼(W)의 전체 면을 폴리싱 하기 위해 정반(1-1)의 직경방향으로 웨이퍼(W)를 요동시키기 위한 요동 기구(3)를 구비한다. 측정 소자(4)는 웨이퍼(W)의 전체 면의 폴리싱 상태를 연속으로 측정한다. |
