发明名称 SURFACE GRINDING MACHINE AND CARRIER USED THEREFOR
摘要 연마가 끝난 공작물을, 외주를 척(chuck)으로 고정하는 것에 의해, 캐리어의 공작물 유지구멍으로부터 꺼낼 수 있도록 한다. 3승강기구를 얻는다. 평면연마장치에, 복수의 발톱부재(11)로 공작물(W)을 외주에서 고정하는 척수단(10)을 설치하는 동시에, 캐리어(7)에 있어서의 공작물 유지구멍(9)의 구멍가장자리에, 상기 척수단(10)인 발톱부재(11)를 삽입가능한 여러개의 절결(17)을 설치하고, 상기 절결(17)의 위치에서 공작물 유지구멍(9)안의 연마가 끝난 공작물(W)을, 외주를 척으로 고정해서 꺼낸다.
申请公布号 KR19990077949(A) 申请公布日期 1999.10.25
申请号 KR19990008917 申请日期 1999.03.17
申请人 null, null 发明人 하코모리순지
分类号 B23Q7/04;B24B7/22;B24B37/04;B24B37/27;B24B37/28;H01L21/304;H01L21/68;H01L21/683 主分类号 B23Q7/04
代理机构 代理人
主权项
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