| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER STRUKTURIERTEN SCHICHT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT405690(B) |
申请公布日期 |
1999.10.25 |
| 申请号 |
AT19970000373 |
申请日期 |
1997.03.04 |
| 申请人 |
SLEYTR UWE B. DIPL.ING. DR.;PUM DIETMAR DIPL.ING. DR.;FALLMANN WOLFGANG;STANGL GUENTHER;IMS-IONEN MIKROFABRIKATIONS SYSTEME GMBH |
发明人 |
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| 分类号 |
B82B1/00;G03F7/004;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G01N33/48;G01N33/53;C12Q1/00;G03F7/038;H01L21/323 |
主分类号 |
B82B1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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