Semiconductor Device Manufacturing Apparatus and Semiconductor Device Manufacturing Method
摘要
<p>열적CVD반응을 이용하여 기판 상에 막을 퇴적하는 반도체장치의 제조장치는, 기판 또는 기판 상에 퇴적된 막에 접촉하는 전극단자를 갖는 링, 이 링의 전극단자에 전류 또는 전위를 인가하는 전원공급기, 그리고, 이 링의 전극단자가 기판 또는 기판 상에 퇴적된 막에 접촉되는 것을 막기 위해 링을 상하로 이동시키는 피스톤실린더메커니즘을 구비한다.</p>
