| 摘要 |
<p>배선의 단면에 대한 2 차원 열해석 시뮬레이션을 수행하여 열용량 (C) 을 구한다. 다음에, 배선 길이 방향의 1 차원 근사식 θ= (Q/2)(λ·SC)(여기서 θ는 보이드 내에서 배선의 온도 상승, Q는 배선에서의 보이드의 열량, λ는 배선의 열전도율, S 는 배선의 단면적이다) 에 기초하여, 보이드 내의 배선 온도 상승 (θ) 을 구한다. 열용량 (C) 을 C= λ'｛ (W/t) + (2.80/1.15) (h/t)｝(여기서, W 는 배선폭, h 는 배선 두께, t 는 기판막 두께, λ' 기판막의 열전도율이다) 의 식으로부터 구할 수도 있다. 이렇게 하여, 해석 시간을 단축시킬 수 있으며, 계산에 사용되는 메모리 및 디스크 용량을 절약할 수 있고, 메쉬 작성을 용이하게 할 수 있다.</p> |
