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发明名称
摘要
申请公布号
JP2967477(B2)
申请公布日期
1999.10.25
申请号
JP19970325037
申请日期
1997.11.26
申请人
NIPPON DENKI KK
发明人
SHISHIGUCHI SEIICHI;YASUNAGA TOMOKO
分类号
H01L29/78;H01L21/336;H01L29/45;H01L29/49;(IPC1-7):H01L29/78
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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