供应一气体室气体的方法及调节在该气体室中特定成份气体含量的方法

摘要

本发明关于一种经由一供给网路供应气体至一室(3,12)的方法，该网路包括至少一支主管线(1,9,10)，主管线之上游部连接至该气体供应源(5)，及至少二支次管线(1i，9i，10i)，次管线连接至主管线，特征在于在室内至少一点测量室内特定大气成份的含量，及将所测得的含量与在该点的室内大气之该成份含量之至少一预定控制值作比较，若需要，视此比较结果而定，改变网内点(Ai)之一的气体压力。

主权项

1.一种调节室(3,12)内特定大气成份含量之方法,室 系由一供给网路所供应,该网路包括至少一支主管 线(1,9,10),主管线之上游部连接至一气体供应源(5), 及至少二支次管线(1i,9i,10i),次管线之上游部连接 至主管线且下游部出现于室内,主管线来自上游节 点(N),节点本身经由一进料管(8)被气体供应,特征 在于执行以下步骤: a)在室内至少一点测量室内特定大气成份的含量; b)至少一测量値与该点的室内大气成份含量的预 定控制値作比较;及 c)视步骤b)的比较结果而定,若需要,改变该网路中 点(Ai)之一的气体压力。2.如申请专利范围第1项之 方法,其特征在于改变该网路中以下点(Ai)之一的 气体压力: i)在主管线或主管线之一上,其系在第一支次管线( 11,91,101)与相关主管线(A1,A4)之连接点上游; j)在主管线或主管线之一上,其系介于该次管线(93/ 94,94/95,101/102,102/103)中的二支与相关主管线之间的 二连接点上;及 k)在进料管(8)上,其系在该上游节点(N)的上游(A0)。 3.如申请专利范围第1或2项之方法,其特征在于依 以下方式进行改变网路中该点的压力之步骤c): c1)将一具有比例控制的电磁阀置于网路中的该点; c2)在电磁阀下游测量(21)靠近网路中该点的气体压 力; c3)将步骤a)中所获得的特定成份含量之该测量値 传送(24a)给一数据采集和处理单元(23),能视该成份 及步骤b)中的所作比较而定,而产生一压力控制値 Cp;及 c4)将此压力控制値Cp传送(24c)给一能比较该压力测 量値与该控制値Cp之装置(22)及据以改变量,凭藉其 将电磁阀(20)打开以便若需要时使该压力回到控制 値Cp的程度。4.如申请专利范围第1或2项之方法,其 特征在于该成份系氧,其在室内大气中的含量系于 步骤a)中被测量。5.如申请专利范围第1或2项之方 法,其特征在于依以下方式进行改变网路中该点的 压力之步骤c): c1)网路的相关管线(主管线或次管线)在网路中该 点被细分成至少三支旁通管(301,302,303),这些旁通 管各装设有一电磁阀(311,312,313)及一位于电磁阀下 游的减压阀(321,322,323),各旁通管之下游端系再度 连接至网路的相关管线; c2)将至少三个减压阀的每一个预设在预定的压力 程度; 及c3)将步骤a)中所获得的特定成份含量之该测量 値传送至一数据采集和处理单元(33),能视该含量 测量値及步骤b)中所作的比较而定,选择地打开该 电磁阀中的一个以便让气体仅进入电磁阀已经打 开的旁通管内。6.如申请专利范围第5项之方法,其 特征在于该特定成份系氧,其在室内大气中的含量 系于步骤a)中被测量。7.如申请专利范围第5项之 方法,其特征在于该至少三支旁通管的每一支中之 该预设压力程度系分别对应: -在第一旁通管中,对应于一减压阀预设于一对应 于减压阀下游的气体流速之第一压力程度Ps,该流 速被称作备用流速Qs; -在第二旁通管中,对应于一减压阀预设于一对应 于减压阀下游的气体流速之压力程度Pprod,该流速 被称作生产流速Qprod;及 -在第三旁通管中,对应于一减压阀预设于一对应 于减压阀下游的气体流速之压力程度Pfill,该流速 被称作填充流速Qfill; 三个流速的各自位置系如下: Qs