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发明名称 Plasmareaktor
摘要
申请公布号 DE69604212(D1) 申请公布日期 1999.10.21
申请号 DE19966004212 申请日期 1996.01.23
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 HANAWA, HIROJI;YIN, GERALD ZHEYAO;MA, DIANA XIAOBING;SALZMAN, PHILIP M.;LOEWENHARDT, PETER K.;ZHAO, ALLEN
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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