发明名称 Verfahren zur Herstellung eines segmentierten monokristallinen Wafers
摘要
申请公布号 DE69509418(T2) 申请公布日期 1999.10.21
申请号 DE19956009418T 申请日期 1995.01.16
申请人 ALCATEL, PARIS 发明人 GAUMONT-GOARIN, ELIZABETH;LABOURIE, CHRISTINE;EMERY, JEAN-YVES
分类号 H01S5/00;H01L33/00;H01S5/026;H01S5/06;(IPC1-7):H01L33/00;H01S3/025 主分类号 H01S5/00
代理机构 代理人
主权项
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