发明名称 SPECIMEN HOLDER MECHANISM FOR SCANNING TUNNEL MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH05133710(A) 申请公布日期 1993.05.28
申请号 JP19910294607 申请日期 1991.11.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHIBATA MOTOJI;OKAJIMA MICHIO;TODA TAKAO
分类号 G01B7/34;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q60/10;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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