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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Bildung eines Films
摘要
申请公布号 DE69033286(D1) 申请公布日期 1999.10.21
申请号 DE19906033286 申请日期 1990.02.14
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 MIYAKE, KIYOSHI;OHNO, YASUNORI;ISOGAI, MASATO;NAKAGAWA, YUKIO;SEKI, TAKAYOSHI;OUHATA, KOUKICHI;NATSUI, KENICHI 18-12;WARABISAKO, TERUNORI;ARIMATSU, KEIJI
分类号 C23C14/12;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/32;C23C14/46 主分类号 C23C14/12
代理机构 代理人
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